Сканирующий электронный микроскоп состоит из следующих основных частей:
Электронно-оптическая колонна: содержит электронную пушку, которая формирует пучок электронов, и систему электромагнитных катушек для его фокусировки.
Блок электроники: обрабатывает сигналы от детекторов и управляет работой микроскопа.
Управляющий компьютер: обрабатывает данные, полученные от детектора, и отображает изображение на мониторе.
При работе сканирующего электронного микроскопа пучок электронов сканирует поверхность образца, создавая изображение.
